Düşük basınç ve vakum altında Quench (su verme), karbürizasyon ve karbonitrasyon operasyonları için kullanılan fırın türleridir. Standart vakum fırınları gibi olan yapılarının yanında, modüler şekilde kurulumu yapılabilen ve kullanılan modüller sayesinde kompleks bir ısıl işlem tesisi haline getirilebilen bir yapıları vardır.
